网友提问：使用CT管P多晶镀膜，240的舟，增加硅烷流量，硅片单片色差非常严重，硅片正中间一块偏薄，同时单片折射率不均也很严重。问下大家出现这种情况一般是什么原因，怎么解决？
网友解答1：是不是增加硅烷流量后硅烷过量？
网友解答2：中间的气体密度是低于边缘的，查下进气孔是否堵塞，先不要急于调节流量。
网友解答3：放电可能有问题，硅烷的流量变回去试试。你那个片子镀膜的样子看起来很像石墨舟的那个挖空的地方。
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