网友提问：硅片扩散后，靠近石英舟的硅片底部老是方块电阻高于其它地方，求解决的方法。测试时采用的是semilab wt2000 pvn 进行面扫描.
网友解答：加大POCL3/O2流量，均匀度会上升
原帖地址：http://www.solarzoom.com/thread-297059-1-1.html
本贴根据solarzoom论坛帖子整理，不代表solarzoom的观点。如有疑问欢迎加入交流讨论。
评论
还没有人评论过，赶快抢沙发吧！
