提问：
sunzhenshuai
前天公司停电，开机后做完升温清洗饱和等工艺后试做片子，发现有一炉片子整体发蓝，但是方阻正常，检查后发现后面通大N2的管子脱落，接好后片子正常了。请问：为什么不通大N2片子会发蓝呢？
网友解答：
fucaptain
这个是由于空气中的氧气和水汽进入管子，发生反应了。
479255964
应该是硅片被氧化，表面形成一层SiO2薄膜，类似Si3N4,在一定厚度时显蓝色。
thebestli
应该是你大N2管子掉了，水汽进入导致的。
luohongzhang
这种情况应该是空气中的水蒸气进入管道导致片子发蓝。
GYZM
应该是水蒸气进入管内了。如单一的未通大氮是会发黑的。
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