图1 组件EL测试
电致发光EL测试使用的是某公司的Electroluminescence Inspection设备。EL照片中黑心和黑斑反映的是在通电情况下该部分发出的1150nm红外光相对弱,故在EL相片中显示为黑心和黑斑,发光现象和硅衬底少数载流子寿命有关。由此可见,黑心和黑斑处硅衬底少数载流子寿命明显偏低。
组件电性能测试如图2所示。由图可见,组件短路电流Isc(
图2 光照条件组件电性能测试
而后,我们进行了电池片电致发光EL测试,如下图3和4所示。其黑心和黑斑现象如组件EL测试所见。
图3 样片1EL测试 图4 样片2EL测试
两片电池效率分别为11.06%和13.99%,Isc分别为4.73A和4.62A,均明显偏低;而此类正常电池片效率一般为17.5%左右,Isc为5.3A左右。
电池光诱导电流密度(LBICCurrent)测试如图5和6所示。
图7样片1少子寿命测试 图8样片2少子寿命测试
硅片少子寿命测试与电池光诱导电流密度(LBICCurrent)测试和电池EL测试具有很好的对应关系,说明造成电池效率低的原因为硅片本身内部缺陷所致,与电池工艺没有直接关系。
而后,对硅片进行化学抛光和Wright液腐蚀,样片2呈现出明显的与EL测试、电流密度(LBICCurrent)测试和少子寿命测试相对应的图案形貌,如图9所示。
图9样片2经化学腐蚀后图案形貌
样片1的光学显微观察如图10和11所示,局部区域具有很高的位错密度达10E5~10E6左右。样片2的光学显微观察如图12和13所示,在如图9所示的中心圆形图案形貌内,其位错密度均高达10E6~10E7左右。
图12 样片2位错密度10E6~10E7(×200倍) 图13 样片2位错密度10E6~10E7(×500倍)
最后,我们对如图9中,样片2所示的黑心内外做SIMS测试,测试结果如表2所示。SIMS测试结果显示,黑心内外各种杂质含量正常。
综上所述,正是由于硅片中存在着极高的位错密度,成为少数载流子的强复合中心,最终导致电池性能的严重下降。而与电池工艺和材料内部杂质无直接关系。
4.拉晶工艺对单晶位错的影响
4.1引颈对单晶位错的影响
由于籽晶和硅熔液接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用引颈生长使之消失。引颈是将籽晶快速往上提升,使长出的晶体直径缩小到一定的大小(4~6mm)。由于位错线通常与生长轴成一个夹角,只要引颈足够长,位错便能长出晶体表面,得到无位错的晶体,如图14所示。为了能完全消除位错,一般的原则是让引颈长度约等于一个晶棒直径的长度,即对于直径为150mm的晶棒,引颈长度约为150mm。
4.2放肩对单晶位错的影响
出于经济方面的考虑,放肩的形状通常较平。如果降温太快,液面呈现过冷情况,肩的形状因直径快速放大而变成方形,严重时易导致位错的重新产生,甚至出现断苞而失去单晶的结构。
4.3 等径生长时,断苞对单晶位错的影响
等径生长时,如果出现断苞,晶棒又足够长时,我们会收尾后作为A段取出。但在断苞处会有大量位错存在,而且位错会沿晶棒向上返一个直径左右,我们称之为位错段。因此,虽然此位错段具有完整的晶线,但往往具有比较高的位错密度,我们经切片腐蚀之后,发现此类硅片的局部位错密度高达2×10E4左右,如图15、16所示。
图15位错段光学显微照片1(×200倍) 图16位错段光学显微照片2(×500倍)
4.4收尾对单晶位错的影响
一般而言,单晶收尾时锅里的料要保证是投料量的5~10%左右。如果收尾时,锅里的料太少,很容易造成坩埚内熔体过冷,一旦过冷必然造成收尾时掉苞,表面看起来是完整的收尾,实际已经失去单晶的结构。这样由断苞处上返一个直径的单晶会存在比较高的位错密度。
4.5拉速和热场对单晶位错的影响
由于硅片来自于等径生长时的晶身,所以此阶段的参数控制是非常重要的。等径生长时,拉速和热场直接关系着晶棒内部缺陷的形成(OISF、D-defects、COP等)。
根据热力学原理,拉晶过程中,本质点缺陷一定会出现在晶体中。从固液界面形成的点缺陷,在随着晶棒的冷却过程中,可能发生扩散、再结合等反应,最后在特定温度范围内,通过过饱和析出而聚集形成微缺陷(OISF、D-defects、COP等),大量的微缺陷又可能形成位错。
根据Voronkov的模型和其V/G理论,点缺陷和微缺陷的形成与拉晶速度V和温度梯度G有直接的关系。因此在实际生产中,可以通过调整拉晶速度和改善保温系统等方法来达到控制点缺陷、微缺陷和位错的目的。
5.结论
单晶硅片中的位错是少数载流子的强复合中心,会严重影响硅片的少子寿命,最终影响太阳能电池和组件性能。
通过调整引颈、放肩、等径生长和收尾等步骤的工艺参数,以及控制拉速和改善温场等方法,可以很好地减少位错的产生,达到控制位错密度的目的,消除或降低其对太阳能电池的不良影响。
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