摘要：随着晶体硅太阳电池技术的发展，为了开发更高效、稳定的电池，开发人员越来越关注pn结杂质浓度分布，非常需要获得精确的测量数据。本文叙述了电化学电容-电压法（ECV，Electrochemical Capacitance-voltage Profiler）的测量原理以及与其他测量技术的异同，通过研究不同条件下杂质分布曲线，分析工艺的优缺点，结果表明杂质浓度分布是影响电池转换效率的主要因素。

　　关键词： 电化学电压电容（ECV）、杂质浓度、PN结

　　中图分类号：TK514  文献标识码：A

　　0 引言

　　近年来，高效率低成本的太阳能电池是光伏产业的研究热点之一。目前，主要有两种方法降低太阳电池的成本。第一，降低硅材料成本，促使硅片向薄片化方向发展；第二，提高电池转换效率。随着晶体硅太阳电池技术的发展，为了开发更高效、稳定的电池，开发人员越来越关注pn结杂质浓度分布，非常需要获得精确的测量数据[1]。

　　电化学电容-电压法（ECV，Electrochemical Capacitance-voltage Profiler）可以用于太阳能电池、LED等产业，是化合物半导体材料研究或开发的主要工具之一，是当前测量半导体载流子浓度分布的非常重要的方法。以前在3-5族化合物半导体中已经广泛应用，现在在硅半导体中ECV的应用也越来越广泛，逐渐成为光伏行业电池技术研究和发展的必要工具之一[2]。

　　ECV测量是利用合适的电解液既可以作为肖特基接触的电极测量C-V特性，又可以进行电化学腐蚀，因此可以层层剥离测量电激活杂质的浓度分度，剖面深度不受反向击穿的限制，并可以测量pn结[3]。

       （晶澳太阳能有限公司，李吉，刘润甫，魏红军，严金梅）

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