提问:
jane0511
按从炉口到炉尾顺序抽取6片,前5片方阻在100左右,最后一片80左右,请大家帮忙解决,会是什么原因?源很足,通源时也鼓泡,之前一直都很好,保养过后新换了热电偶就出现这样的问题,但各个温区温度是正常的,片子出来的颜色也不像没扩的样子,但出来的方阻就是很大。
网友解答:
cys_1108
看看排废啦,看有没有动排废,或者让设备再仔细检查一下各个接口。
shiming07
拉炉温确定温度和热电偶测得是不是一样?当然尾气抽风过大也有可能。
mashuming
可以更换干氧流量控制器试一下。
chenning
四十八所炉子出现过这种情况,怎么做都下不来,后来发现原来是小氮量程设错。
zhenguo1
不知你们的保养工作是如何做的,根据经验,如果使原有的扩散微观条件发生了变化(如上面所说的排风流量的改变等),都可能造成扩散结果的改变。有一点可以肯定,你们换了热电偶,那么即使设定的扩散温度条件没有改变,但因热电偶测温点在炉筒中位置的微小变化,都会造成扩散炉实际温度的改变,这样扩散的结果当然会发生变化。所以建议你首先调整各控温区的设定温度,看看是否能解决问题,然后再找其他问题。
当然,做这些事情必须是以你们各种设置的扩散条件,在表观上是没有发生过任何改变为前题的。
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